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            產(chǎn)品中心

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            產(chǎn)品分類

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            德國aixACCT激光干涉儀

            aixACCT是您在材料開發(fā)和設備鑒定方面進行電氣測試的合作伙伴,并通過提供新的測試概念和系統(tǒng)解決方案縮短了客戶新產(chǎn)品的上市時間。產(chǎn)品通過不斷創(chuàng)新,涵蓋從材料研究到原型測試以及生產(chǎn)過程中的質(zhì)量保證的整個范圍。多年來積累了豐富的設計開發(fā)經(jīng)驗以及技術知識,通過不斷地研究發(fā)展,為客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品及服務。

             

            產(chǎn)品范圍:

            德國aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執(zhí)行器。

             

            主要型號:

            TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

             

            相關產(chǎn)品介紹:

            雙光束激光干涉儀

            aixACCT Systems已將公認的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進行長達8英寸的晶圓表征。

            用于測量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過驗證的精度(x切割石英),max可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間*為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測量速度提高了100倍。這使得**比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理,**了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進行此類測量的主要障礙。

            測量:

            -機電大信號應變和*化測量。

            -壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

            -電氣和機電性能疲勞。

            aixDBLI系統(tǒng)的*特性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機電系統(tǒng))設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的出色分辨率和可重復性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

            技術數(shù)據(jù):

            -解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試

            -位移/應變測量:50 Hz-5 kHz

                           100 mV至10 V

             至25 V(可選)

            -壓電d 33系數(shù):

            偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

                     100 mV至10 V

                     至25 V(可選)

            小信號:(1 kHz至10 kHz)

                      100 mV至10 V

            -電致伸縮M 33:類似于d 33

            -C(V)測量:

            偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

                      100 mV至10 V

                      至25 V(可選)

            小信號:(1 kHz至10 kHz)

                      100 mV至10 V


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